“干法转移”实现晶圆级单晶二维半导体柔性集成
创始人
2026-05-06 03:44:18
0次
记者27日从西湖大学获悉，该校工学院孔玮教授团队成功实现晶圆级单晶二硫化钼薄膜在柔性基底上的高质量集成，将单晶二维半导体转移集成技术从“湿法”推进到“干法”路线，为突破长期制约高性能柔性电子发展的技术瓶颈提供了新路径。相关研究成果日前发表于《自然·电子》期刊。
以单晶二硫化钼为代表的二维半导体材料，兼具原子级厚度的柔韧性与卓越电学性能，是发展高性能柔性电子器件的重要候选材料。但其洁净、高质量、可规模化的转移集成一直是行业难题。此前，这类材料通常通过化学气相沉积法在蓝宝石衬底上外延生长，并采用“湿法转移”技术转移至柔性基底。但该方法需使用聚合物、水或有机溶剂，会在材料表面留下难以根除的残留，影响材料性能。
研究团队另辟蹊径，开发出基于氧化物的“干法转移”策略：先通过电子束蒸发沉积一层极薄的三氧化二铝，用于增强氧化物与二硫化钼之间的界面结合；再用原子层沉积技术覆盖另一层三氧化二铝，形成高质量高介电常数栅介质层。该转移工艺全程避免二硫化钼表面与聚合物、水或有机溶剂直接接触，有效保留材料本征特性。
“基于该工艺，我们构建的晶圆级高密度柔性晶体管阵列实现了多项性能突破。”孔玮介绍。
研究团队将该晶体管阵列用于主动矩阵触觉传感系统，并贴合在软体机器人手爪表面。该系统能够实时感知和绘制压力分布，帮助机器人识别物体的形状、位置和大小。（记者刘园园）
相关内容
热门资讯
多地推进中考改革，普高“愿读尽...
最近，来自海南的家长彭莉(化名)收到了孩子带回来的一份确认书。 孩子所在的学校将从九年一贯制改为十二...
JLPT N5易错点｜助词时态...
JLPT N5易错点｜助词时态这6个坑我全踩了一遍JLPT N5易错点｜助词时态这6个坑我全踩了一遍...
日语短句大集合｜动漫日剧里超帅...
日语短句大集合｜动漫日剧里超帅的5句台词学会就能开口日语短句大集合｜动漫日剧里超帅的5句台词学会就能...
日语敬语三种用法详解｜丁寧語尊...
日语敬语三种用法详解｜丁寧語尊敬語謙譲語一次看懂日语敬语三种用法详解｜丁寧語尊敬語謙譲語一次看懂日语...
科学教育要在“做中学”
近日，教育部印发《义务教育阶段科学教育“做中学”领航行动指南》，明确在严格执行义务教育课程方案总体要...
五十音图零基础入门｜假名记忆技...
五十音图零基础入门｜假名记忆技巧与避坑指南五十音图零基础入门｜假名记忆技巧与避坑指南说真的，我学日语...
我家孩子情绪波动大，网上怎么挑...
相信不少初高中家长都有过这样的感受。 孩子进入青春期之后，情绪时好时坏，有时候好好沟通，转眼就容易烦...
JLPT N5高频易错点全整理...
JLPT N5高频易错点全整理｜零基础踩过的6个坑JLPT N5高频易错点全整理｜零基础踩过的6个坑...
福建孩子进央国企，专升本学历会...
不少福建的学生通过专升本考上了本科，毕业之后想要投递央国企，心里特别自卑，觉得自己是专升本学历，比全...
日剧日语短句合集｜6句超实用口...
日剧日语短句合集｜6句超实用口语学会就能开口说日剧日语短句合集｜6句超实用口语学会就能开口说先讲个真...
加强校园文化建设是铸牢中华民族...
中华民族共同体意识是国家统一之基、民族团结之本、精神力量之魂。教育部实施的“加强铸牢中华民族共同体意...
秀洲统战用心守护少年向阳生长
（来源：嘉兴日报） 转自：嘉兴日报 ■记者 钟淑婷 通讯员 徐 佳 少年儿童是祖国的花朵、民族的未来...
日语敬语用法大全｜丁寧語尊敬語...
日语敬语用法大全｜丁寧語尊敬語謙譲語一篇分清日语敬语用法大全｜丁寧語尊敬語謙譲語一篇分清日语敬语用法...
1217所院校23417个专业...
（来源：河北日报） 转自：河北日报 1217所院校23417个专业（类）在我省专科批计划招生 本报讯...
日语语法は和が的区别｜零基础自...
日语语法は和が的区别｜零基础自学3年总结的5条规律日语语法は和が的区别｜零基础自学3年总结的5条规律...
“港爱读” | 暑期全学科阅读...
书香润校园 阅读正当时 为激励青少年 爱读书、读好书、善读书 东港区教育和体育局推出 “港爱读”暑...
JLPT N5词汇辨析方法｜自...
JLPT N5词汇辨析方法｜自学日语半年易混词避坑指南JLPT N5词汇辨析方法｜自学日语半年易混词...